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精密制造与微米级工艺技术
精密加工装备
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所属展区： 精密加工装备
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展区介绍

精密加工装备：

  • 纳米级定位平台：应用于半导体晶圆检测、光学器件组装；

  • 超精密机床附件：微铣削主轴、激光微加工头等，支撑航空航天精密部件制造


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